Вверх

21-14Г «Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)»

Соглашение о предоставлении субсидии от «11» августа 2014 г. № 14.574.21.0092

Работа выполняется в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технического комплекса России на 2014-2020 годы»

Шифр конкурса: 2014-14-576-0097

Шифр заявки: 2014-14-576-0097-004

Срок выполнения: 11.08.2014 г. – 31.12.2016 г.

Цель выполнения ПНИ: разработка методов проектирования и технологий создания нового класса интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС), объединяющих функции сенсорных, управляющих и исполнительных элементов.

Проект № 14.574.21.0092 «Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)» - презентация

Проект № 14.574.21.0092 «Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)» - резюме 2016

Этапы выполнения НИР

п/п

Наименование Этапов

Отчетный период по этапу (начало - окончание)

1

Выполнение аналитического обзора, обоснование направления исследований, разработка и исследование вариантов возможных решений задачи.

11.08.2014 – 31.12.2014

2

Разработка методов расчета пропускной способности и исследование влияния технологических дефектов на точность МЭМС.

01.01.15 - 30.06.15

3

Разработка рекомендаций к обеспечению необходимого уровня технологических дефектов и методики проектирования нового класса интегрированных МЭМС.

01.07.15 - 31.12.15

4

Изготовление экспериментальных образцов интегрированных МЭМС, объединяющих функции сенсорных, управляющих и исполнительных элементов.

01.01.16 - 30.06.16

5

Проведение исследовательских испытаний экспериментальных образцов интегрированных МЭМС и оценка полноты решения задачи и достижения поставленных целей ПНИ.

01.07.16 - 31.12.16

Научный руководитель проекта: д.т.н., профессор Сергей Михайлович Карабанов.

 

Рязанский государственный радиотехнический университет - 21-14Г «Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)»