RSS
Русский 
English 
Научная деятельность Отчеты по госконтрактам 21-14Г «Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)»21-14Г «Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)»
Соглашение о предоставлении субсидии от «11» августа 2014 г. № 14.574.21.0092
Работа выполняется в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технического комплекса России на 2014-2020 годы»
Шифр конкурса: 2014-14-576-0097
Шифр заявки: 2014-14-576-0097-004
Срок выполнения: 11.08.2014 г. – 31.12.2016 г.
Цель выполнения ПНИ: разработка методов проектирования и технологий создания нового класса интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС), объединяющих функции сенсорных, управляющих и исполнительных элементов.
Этапы выполнения НИР
|
№ п/п |
Наименование Этапов |
Отчетный период по этапу (начало - окончание) |
|---|---|---|
|
1 |
Выполнение аналитического обзора, обоснование направления исследований, разработка и исследование вариантов возможных решений задачи. |
11.08.2014 – 31.12.2014 |
|
2 |
Разработка методов расчета пропускной способности и исследование влияния технологических дефектов на точность МЭМС. |
01.01.15 - 30.06.15 |
|
3 |
Разработка рекомендаций к обеспечению необходимого уровня технологических дефектов и методики проектирования нового класса интегрированных МЭМС. |
01.07.15 - 31.12.15 |
|
4 |
Изготовление экспериментальных образцов интегрированных МЭМС, объединяющих функции сенсорных, управляющих и исполнительных элементов. |
01.01.16 - 30.06.16 |
|
5 |
Проведение исследовательских испытаний экспериментальных образцов интегрированных МЭМС и оценка полноты решения задачи и достижения поставленных целей ПНИ. |
01.07.16 - 31.12.16 |
Научный руководитель проекта: д.т.н., профессор Сергей Михайлович Карабанов.
- Обновлено 18 Декабря 2014 г.
- Ответственный за размещение:
Кафедра ЭП
